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证券日报网讯 2月9日，恒运昌在互动平台回话投资者发问时暗示，公司已向国内头部晶圆厂录用Bestda等离子体射频电源，终昭着国内首颗刻蚀开采选射频电源的原位替换。此外，公司Aspen系列等离子体射频电源和Basalt系列匹配器已在国内头部晶圆厂产线上替代了CVD（化学气相千里积）工艺开采中的外洋等离子体射频电源及匹配器产物。
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